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原子層沉積設備 ALD系列

[特點]

  1. 全自動

可在注模成型的基板上全自動地進行真空成膜(濺射和聚合)。

循環時間:100秒

高度粘合

即使無底涂層亦可獲得高粘合性。


[目標產品]

汽車前照燈反射器

鏡子

金屬裝飾膜



設備結構


●最大裝載尺寸     W250×L500×D150㎜

●適用基片材質            PC,PET,PP,PE等

●濺射數率:         10nm/sec以上(Al)

●聚合數率                  1nm/sec

●抽氣速度               40sec可達0.1Pa(濺射室),40sec可達10Pa(聚合室)

●處理周期 自基片投放、濺鍍、聚合至取出約在100sec以內完成。

●膜性能 反射率85%以上,KOH 1%10min

●泵配置 濺射室:RP + MBP + TMP,聚合室:RP + MBP(TMP選件)

●SP室+聚合室               2室配置

●濺 鍍 室 高速率濺射陰極(靶材尺寸540×240mm)、40KW DC電源

●聚合室 輝光放電聚合電極×1個     1kW 射頻電源

●濺射材料                  Al等

●聚合氣體                  HMDSO(SiOx用)等


◇ 可選項        基板旋轉機構

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