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高出力RF離子源 ISG-180

可實現廣范圍穩定放電,可用于光學薄膜的非移膜,也可用于改善樹脂基板的膜附著性能等各種用途。

放電性能采用了獨創的方法,可以實現切實點火以及穩定放電。


主要特征

◇本部品為電子束電流 1 5 00mA 電 子束 電壓 1500V / 離子 電流密度 150 μ A/ c㎡以上的高輸出性離子源。

◇通過高壓電達成 離子 電流密度分布 ±5 %以下 的均勻性 。

※本數值為 Sapio 1300 設備的測量結果 。 僅限于敝司指定條件 。

◇ 中和器采用自動匹配,實現了切實點火以及穩定性。

◇ 另外,采用了新開發的收集電極(正在申請專利),實現了發射電流可達

3000mA 的超強輸出性能 。

充電式,預防膜雜質微粒的發生。

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