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真空蒸鍍設備 SEC-06D

簡介

1.本設備是真空蒸鍍設備,通過使用阻抗加熱式蒸發源使金屬材料蒸發后附著到基板上形成薄膜。(主要用于金屬多層膜,電極膜)

2.本設備可進行批量生產,搭載1片最大Φ400mm的傘架。

3.通過晶振式膜厚儀進行蒸發速度控制以及膜厚控制。

4.操作控制系統為全自動方式。


特征

1.便于操作

2.最適用于研發以及小批量生產

3.真空槽為前門開閉式,便于維修保養

4.操作控制系統一體化的小型化設計

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