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> 產品詳情頁
等離子洗凈設備 SPE-2136A

<概要>

對應基板 φ4、φ6英寸晶片

灰化分布 ±10%以內

排氣時間 18秒以內到達10Pa

可選購項 Ar等離子清洗除靜電器


用途,應用例:

1.各種晶片電子零件的去膠

2.后工序電鍍前的表面改質

3.除去有機污染

4.樹脂材料的表面改質

5.對應聲表等極薄壓電晶片

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