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高真空退火爐 SAF-52T-Ⅱ
高效生產周期

節約擺放空間

特 長

  1. 本設備的主要作用是去除晶體振蕩器在加工過程中產生的內部應力偏差,使其電極膜更加穩定化。
  2. 本設備配有W460 × D350 × H35mm的加熱架左右各10層,最多可以擺放 170 × 134mm 尺寸的標準托盤60片。
  3. 本設備設計有2個可以獨立工作的退火室,提高了生產效率,縮短了生產周期。

尺寸 / 重量

外形尺寸
W1700 × D900 × H1700 毫米
設置重量
約2500 kg

性 能

到達壓力
低于 6.7 × 10-4 Pa (雙槽排氣)
排氣時間
20分鐘到達 6.7 × 10-3Pa (雙槽排氣)
最高溫度
300°C (試料用托盤中央部的表面溫度)
常用溫度
250°C (試料用托盤中央部的表面溫度)
溫度調整精度
±15°C (250°C,試料用托盤中央部的表面溫度)
升溫時間
約60分鐘從常溫到達 250°C
處理數
60片(使用170mm × 134mm 托盤時)
排氣系統
渦輪分子泵、旋轉機械泵
真空計
彭寧真空計 × 2
皮拉尼真空計 × 2

外部需求條件

所需電量
三相, 200V, 22.4 kVA (64.7 A)
所需水量
輸入壓力: 0.3 ~ 0.4 MPa
壓力差: 0.2 MPa 以上
水溫: 20 ~ 25°C (以運行中無結露為條件)
流量: 約0.66 m 3 /hr (11 L/min)
所需空壓
供給壓力: 0.5 ~ 0.7 MPa
設定壓力: 0.5 MPa
所需氣體
(N2氣體泄氣用)
供給壓力: 0.2 MPa 以上
設定壓力: 0.05 ~ 0.1 MPa

※設備規格/外觀可改良或變更。
※本產品有外匯以及戰略物資根據國際貿易管理方法的規定相當出口限制物品的情況。 因而在把相符合品拿到日本國外的時候拿到日本國政府的出口許可申請需要的手續。

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