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連續式真空退火爐 SAF-X1201
高效工程周期

全自動化

特 長

  1. 本設備是連續式真空熱處理設備,主要作用是通過熱處理去除晶體振蕩器在加工過程中產生的內部應力偏差,使其電極膜更加穩定化。
  2. 本設備由預備室,處理室,冷卻室3室構成,托盤從預備階段到退火階段再到冷卻階段,整個工程全都自動進行。除此之外,本設備還可以連接上下料設備形成自動生產線,提高產能節約人力。
  3. 生產速度以 220 × 140mm 的托盤為例達到 18 分/片。(※4)
  4. 退火工程完全自動化,提高了生產量。

尺寸 / 重量

外形尺寸
W1900 × D1500 × H2000 毫米
設置面積
約W1900 × D2170 × H2230 mm
設置重量
約2500 kg

性 能

到達壓力
9.9 × 10-4 Pa 以下(退火室)
排氣時間
1.2 × 10-2Pa迄 15分以下 (退火室)
最高溫度
退火室: 350°C (加熱架表面溫度) ※1
常用溫度
退火室: 270°C (加熱架表面溫度) ※2
平均溫度
270°C ±7.5°C (加熱架表面溫度) ※3
處理速度
18分以內/托盤 ※4
排氣系統
渦輪分子泵、施轉式油泵、機械增壓泵
真空計
電離真空計 × 1
皮拉尼真空計 × 3

※1, ※2: 溫調器顯示值
※3: 加熱未搭載托盤時間的溫度分布
※4: 工件搭載數為每托盤750個,加熱時間設定為2小時
第2片之后的托盤排出的間隔時間
根據取出室的冷卻促進用氣體種類,處理速度會有變動
錄用AVIONICS制托盤(220 × 140)

外部需求條件

所需電量
200V ±10% / 220V ±10%, 三相三線式, 約21 kVA (61A)
所需水量
輸入壓力: 0.3 ~ 0.4 MPa
壓力差: 0.2 MPa 以上
水溫: 20 ~ 25°C (以運行中無結露為條件)
流量: 約1.2 m 3 /hr (20 L/min)
所需空壓
供給壓力: 0.5 ~ 0.7 MPa
設定壓力: 0.5 MPa
所需氣體
N 2氣(真空槽泄氣用)
供給壓力: 0.2 MPa 以上
設定壓力: 0.2 ~ 0.3 MPa
He氣(促進托盤冷卻用)
供給壓力: 0.05 MPa 以上
    設定壓力: 0.02 ~ 0.03 MPa

※設備規格/外觀可改良或變更。
※本產品有外匯以及戰略物資根據國際貿易管理方法的規定相當出口限制物品的情況。 因而在把相符合品拿到日本國外的時候拿到日本國政府的出口許可申請需要的手續。

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