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連續式頻率微調機 SFE-X2012
小型化設計
高精度
低價格
高穩定性
高重現性

特 長

  1. 采用3室連續式
    微調室和取件室各自獨立,離子源也各自配備H/L,縮短了停機時間,實現了高效運轉。
  2. 多源同時處理
    本設備搭載了2臺IGF-201型100mm離子束的離子源
    (與SFE-B03機型相同)。
    每1臺最大可處理24個工件,共可同時處理48個工件。
  3. 對應微小工件的高精度結構
    本設備也采用了在SFE-B03機型已有實績的高精度, 高穩定性,高重現性的搬送結構。
    到現在為止,連續式機型難以處理的小型工件
    (2.0×1.6、1.6×1.2)的頻率調整也可穩定的進行量產。
  4. 考慮保養性能
    每個組件的各個機器都可以分解拆開,設計階段就考慮了保養性能。

連續式頻率微調機 SFE-X2012連續式頻率微調機 SFE-X2012

性 能

處理速度
0.3 sec/pc 以下
※18MHz以上的工件、1列24個以上的情況
微調精度
±1.5 ppm 以下
處理數
最大24列 (p4.0) ×32列
生產量
12000 pcs/時間 以上

概略規格

工件尺寸
SMD2016以下的小型工件也可適用
設備構成
3室 (預備室,微調室,取件室)連續式
※通過選購項目,可連接LD (O, D帶電清洗機構)和ULD。
搬送系統
同SFE-B03型一樣,都分別采用X軸搬送到H/L
排氣系統
微調室 12寸CP
預備室/取件室 RP+MBP
離子源
100mm離子束矩形型 ×2臺
⇒ 最大可同時處理48個工件
測量系統
網絡分析儀 4臺
個人電腦
Windows PC×2臺、DOS PC×2臺
頻率微調工段
2階段 (H, LL)

連續式頻率微調機 SFE-X2012

※設備規格/外觀可改良或變更。
※本產品有外匯以及戰略物資根據國際貿易管理方法的規定相當出口限制物品的情況。 因而在把相符合品拿到日本國外的時候拿到日本國政府的出口許可申請需要的手續。

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