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光學薄膜用濺鍍設備 AXIS Series

本設備采用了裝載鎖定(Load lock)式鍍膜方法。相比普通設備減輕了設備的維護負擔,以及為求省力化,設計了對應前后工程自動化的裝置。

另外,采用了旋轉式(Carousel)鍍膜,可以對應低溫鍍膜需求。


概要

  • 裝載鎖定式濺鍍設備
  • W240×L900mm托盤×18片一同處理
  • 可以使用3種不同材料進行鍍膜

特征

  • 可以用于樹脂基板的低溫濺鍍

2. 采用了旋轉陰極,延長了靶材的使用壽命

3. 優化了批次內,批次間膜厚分布

4. 相比我司φ1700mm鍍膜設備,生產性更高

   基板的單位面積耗電量減少了65%

   設定面積的生產性能約為2.8倍 

5. 可以擴展自動化功能

主要用途·應用例

1. 用于樹脂基板形成防止反射膜 

2. 用于平板玻璃基板形成光學濾鏡
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