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SGC-S900CWi

可對應激光器產品


特征:

近紅外區域的高精度性能控制!

最適用于激光器類產品!

自動翻轉結構實現雙面鍍膜!

RF離子源實現高功率的蒸鍍輔助!


主要規格:

翻轉結構

8軸/8片(※自動翻轉結構實現雙面鍍膜)

占地(含維護所需)[mm]

W4,000×D5,800×H2,637mm

重量[kg]

4,685kg

排氣系統

22 inchCP×1、MBP、DRP×1、冷阱

基板加熱

加熱絲 350℃ or 鹵素燈150℃

電子槍

180° or 270°偏向型

離子源

柵網結構RF離子源 ISG-130

水晶膜厚監控儀

6點晶控+ CO?T LEADERⅡ+最佳監測點

選配

分割傘架、光控APEX(380~2000nm)

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